Universität Tübingen
Institut für Angewandte Physik
Klaus Schock
snail mail:
Institut für Angewandte Physik
Universität Tübingen
Auf der Morgenstelle 10
D-72076 Tübingen
Germany
e-mail: klaus.schock@supra-net.net(klaus.schock@supra-net.net)
Area of work:
Building and testing of a new fast
Pattern Generator
for low energy electron beam lithography.
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Last change July, 14., 1997